금속 성분분석 방법(OES, XRF, ICP, SEM)

 

 

분석법	특징	장점	단점	주요활용분야
OES	방전·플라즈마로 원소 방출광 분석	빠르고 정밀, 철강·합금 분석 가능	시료 전처리 필요, 이동형 장비는 정밀도 낮음	철강·주조 산업, 품질 검사
XRF	X선 형광 방출 분석	비파괴 검사, 빠르고 간편	경량 원소 분석 어려움	금속 재활용, 광물, 환경 모니터링
ICP	플라즈마에서 원소 이온화 후 분석	초미량 분석 가능, 고정밀	비용 높고 유지 어려움	반도체, 초정밀 금속 분석, 연구소
SEM-EDS	전자빔으로 표면 분석 + X선 원소 분석	미세 조직 분석 가능, 비파괴 분석	정량 분석 어려움, 경량 원소 분석 한계	용접부, 부식, 코팅층, 미세 구조 분석

OES, XRF, ICP는 대량 성분 분석에 강점이 있음.

SEM-EDS는 미세한 국부 분석이 필요할 때 필수적임.

연구소 및 품질 관리에서는 OES + SEM-EDS 또는 XRF + SEM-EDS 조합이 많이 사용됨.

상황에 따라 SEM(표면측정)와 ICP(녹여서측정)를 병행하여 사용됨.